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電子級(jí)超純水要求有哪些?
文章出處:admin 人氣:發(fā)表時(shí)間:2024-08-30
在電子元件制造的高要求領(lǐng)域,我們的電子級(jí)超純水機(jī)將成為您的得力助手。這款超純水機(jī)采用先進(jìn)的多級(jí)過濾技術(shù)和離子交換工藝,能夠高效去除水中的顆粒雜質(zhì)、金屬離子、有機(jī)物以及微生物等,為您提供電阻率高達(dá) 18.2 MΩ?cm(25℃)的超純水。
使用滲源純水制造的的電子級(jí)超純水機(jī),您將徹底告別因水質(zhì)問題而導(dǎo)致的電子元件物理性損傷和化學(xué)性干擾。無論是在光刻工藝中配制光刻膠,還是在蝕刻和清洗過程中,超純水都能確保高精度制程的順利進(jìn)行,有效提升產(chǎn)品的良品率和性能穩(wěn)定性。
電阻率:這是衡量純水純度的關(guān)鍵指標(biāo)之一,一般要求電阻率達(dá)到 18.25 MΩ?cm(25℃)及以上。電阻率越高,說明水中的導(dǎo)電離子越少,水的純度越高。對(duì)于一些對(duì)水質(zhì)要求極高的電子工藝,如集成電路制造,可能要求電阻率更高。
總有機(jī)碳(TOC)含量:TOC 反映了水中有機(jī)物質(zhì)的含量。電子級(jí)純水的 TOC 含量通常要求非常低,一般要小于 10 ppb=1μg/L(十億分之一),而成都滲源純水已經(jīng)能做到1ppt=1ng/L(萬億分之一)。有機(jī)物質(zhì)可能會(huì)在電子元件表面形成碳膜,影響元件的性能和可靠性。
顆粒物質(zhì):水中的顆粒物質(zhì)可能會(huì)附著在電子元件表面,導(dǎo)致元件短路或其他故障。因此,電子級(jí)純水對(duì)顆粒物質(zhì)的含量有嚴(yán)格限制。通常要求顆粒尺寸大于 0.1 μm 的顆粒數(shù)要極少,每毫升水中的顆粒數(shù)可能要求在幾十個(gè)以下。
微生物含量:微生物的存在會(huì)對(duì)電子元件的生產(chǎn)和性能產(chǎn)生負(fù)面影響。電子級(jí)純水的微生物含量要求非常低,一般細(xì)菌含量要低于 1 CFU/mL(colony-forming units per milliliter,每毫升形成菌落的單位數(shù))。
金屬離子含量:各種金屬離子的存在會(huì)影響電子元件的性能和可靠性,特別是對(duì)于晶元薄片和超大規(guī)模集成電路等高精度電子器件。如:硅、砷、鎵、碲、鎘、鈉、鉀、鐵、銅、等金屬離子的含量都要控制在極低的水平,通常要求每升水中的金屬離子含量在幾微克甚至更低。
溶解氧含量:溶解氧可能會(huì)引起電子元件的氧化,對(duì)一些對(duì)氧化敏感的電子工藝產(chǎn)生不利影響。因此,電子級(jí)純水的溶解氧含量也需要控制在較低水平,具體要求根據(jù)不同的電子工藝和生產(chǎn)要求而定。
pH 值:純水的 pH 值應(yīng)接近中性,一般要求在 6.5 - 7.5 之間。pH 值的偏差可能會(huì)影響電子元件的清洗效果和化學(xué)穩(wěn)定性。
中國(guó)的電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)主要參照 GB/T 11446.1-2013 系列標(biāo)準(zhǔn) 。不同的電子行業(yè)領(lǐng)域以及不同的生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié),對(duì)純水的具體要求可能會(huì)有所差異,但總體上都需要滿足高純度、低雜質(zhì)的要求。
成都滲源超純水機(jī)具有極佳的耐化學(xué)特征,能夠抵抗酸、堿、強(qiáng)氧化劑和鹵素的腐蝕,通殺具有良好的機(jī)械強(qiáng)度,耐高溫、阻燃性、耐候性與耐老化性。在半導(dǎo)體領(lǐng)域中軟管用作透明管道,在晶元清洗設(shè)備中能抵抗化學(xué)試劑的腐蝕,確保設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,此外其內(nèi)壁光滑不易集聚污垢和顆粒物,有助于減少污染風(fēng)險(xiǎn)。提高晶元的質(zhì)量。
成都滲源一般會(huì)使用雙級(jí)反滲透后純水儲(chǔ)存于FPR材質(zhì)的氮封水箱,氮封水箱使用氮?dú)夥忾]系統(tǒng)通過向水箱內(nèi)部充滿高純度的氮?dú)?,其主要作用是防止空氣中的雜質(zhì)進(jìn)入水箱,從而保持物質(zhì)的純度。氮?dú)饽軌蛴行У馗綦x外界空氣,防止止水中溶解氧、二氧化碳等氣體的溶解和氧化反應(yīng),從而保持超純物質(zhì)的純度和穩(wěn)定性。此外,氮封裝置通常由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成,以確保水箱內(nèi)的壓力穩(wěn)定,防止因壓力變化導(dǎo)致的物質(zhì)質(zhì)量下降。
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