電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）是一項高度復雜的多元素分析技術(shù)，它正越來越多地在制藥行業(yè)、食品與飲料行業(yè)以及環(huán)境監(jiān)測中用于痕量元素的檢測與定量分析。

污染物的影響

在基于ICP-MS技術(shù)的痕量分析過程中，主要在前期步驟使用純水。顯而易見，任何存在于水中的污染物都可能對分析過程的所有其它步驟產(chǎn)生不利影響。因此，分析過程中使用的純水，例如用于樣品稀釋的純水等，都應該幾乎不含離子，同時具有相對較低的TOC濃度。

實驗室純水中污染物的影響：

總有機碳（TOC）化合物：

導致有機金屬化合物的產(chǎn)生，從而對痕量分析結(jié)果造成不利影響

污染設備組件

高離子濃度（電導率）：

大大影響分析物的能譜分析結(jié)果

導致分析結(jié)果失真

顆粒物：

堵塞分析儀器（如霧化器等）部件

可結(jié)合金屬，從而影響分析結(jié)果

細菌：

堵塞系統(tǒng)組件

釋放離子

關(guān)鍵因素

特別是，低離子濃度在制備ICP質(zhì)譜分析樣品時能夠起到關(guān)鍵作用。由于ICP-MS是一項極為復雜的分析方法，因此所用純水必須具備極高的質(zhì)量，例如電導率為0.055 μS/cm的ASTM I級超純水。此外，TOC水平必須保持在較低值（建議<10ppb）。